6SE7022-6TC71-1AA1,6SE7022-6TC71-1AA16SE7022-6TC71-1AA1
6SE7022-6TC71-1AA16SE7022-6TC71-1AA1
無源感應(yīng)器不能直接轉(zhuǎn)換能
量形式,但它能控制從另一
輸入端輸入的能量或激勵(lì)能
,感應(yīng)器承擔(dān)將某個(gè)對(duì)象或
過程的特定特性轉(zhuǎn)換成數(shù)量
的工作。其“對(duì)象”可以是
固體、液體或氣體,而它們
的狀態(tài)可以是靜態(tài)的,也可
以是動(dòng)態(tài)(即過程)的。對(duì)象
特性被轉(zhuǎn)換量化后可以通過
多種方式檢測(cè)。對(duì)象的特性
可以是物理性質(zhì)的,也可以
是化學(xué)性質(zhì)的。按照其工作
原理,它將對(duì)象特性或狀態(tài)
參數(shù)轉(zhuǎn)換成可測(cè)定的電學(xué)量
,然后將此電信號(hào)分離出來
,送入感應(yīng)器系統(tǒng)加以評(píng)測(cè)
或標(biāo)示。
工作過程
向感應(yīng)器提供±15V電源,激
磁電路中的晶體振蕩器產(chǎn)生
400Hz的方波,經(jīng)過TDA2030
功率放大器即產(chǎn)生交流激磁
功率電源,通過能源環(huán)形變
壓器T1從靜止的初級(jí)線圈傳
遞至旋轉(zhuǎn)的次級(jí)線圈,得到
的交流電源通過軸上的整流
濾波電路得到±5V的直流電
源,該電源做運(yùn)算放大器
AD822的工作電源;由基準(zhǔn)電
源AD589與雙運(yùn)放AD822組成
的高精度穩(wěn)壓電源產(chǎn)生
±4.5V的精密直流電源,該
電源既作為電橋電源,又作
為放大器及V/F轉(zhuǎn)換器的工作
電源。當(dāng)彈性軸受扭時(shí),應(yīng)
變橋檢測(cè)得到的mV級(jí)的應(yīng)變
信號(hào)通過儀表放大器AD620放
大成
1.5v±1v的強(qiáng)信號(hào),再通過
V/F轉(zhuǎn)換器LM131變換成頻率
信號(hào),通過信號(hào)環(huán)形變壓器
T2從旋轉(zhuǎn)的初級(jí)線圈傳遞至
靜止次級(jí)線圈,再經(jīng)過外殼
上的信號(hào)處理電路濾波、整
形即可得到與彈性軸承受的
扭矩成正比的頻率信號(hào),該
信號(hào)為TTL電平,既可提供給
專用二次儀表或頻率計(jì)顯示
也可直接送計(jì)算機(jī)處理。由
于該旋轉(zhuǎn)變壓器動(dòng)--靜環(huán)之
間只有零點(diǎn)幾毫米的間隙,
加之感應(yīng)器軸上部分都密封
在金屬外殼之內(nèi),形成有效
的屏蔽,因此具有很強(qiáng)的抗
干擾能力。
ASML/SVG Fold Mirror zygo P/N: 851-1901-001
ASML/SVG Board P/N: 879-8077-002
ASML/SVG Joystick Board P/N: 879-8060-KKFN466
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